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用于化学蚀刻工件的装置

690   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:15
本发明公开了一种化学蚀刻工件的装置,该装置包括:接收处理气体的腔室,该腔室具有用于抽取排出气体的泵送口;和位于腔室内泵送口的上游的工件支撑部。该腔室进一步包括副腔,该副腔位于泵送口的上游和工件支撑部的下游,副腔包括窗口和临近窗口的激发源,该激发源用于在排出气体的样品中产生等离子体,从而产生能够通过窗口被监测的光发射。
声明:
“用于化学蚀刻工件的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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