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具有重叠的固定面积螺旋凹槽的化学机械抛光垫

1036   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:15
一种圆形化学机械抛光垫,其包括具有同心定位的原点的抛光面。所述抛光面包括凹槽组,这些凹槽组各自包括以一定图案排列的凹槽,一个凹槽组中的凹槽与另一个凹槽组中的凹槽交叉。各凹槽组中的凹槽构造和排列成使得沿着任意与所述原点同心且穿过所述凹槽的圆测得的抛光面开槽率基本固定,即约在其平均值的25%以内。
声明：
“具有重叠的固定面积螺旋凹槽的化学机械抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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