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扫描电化学显微镜探针及其制备方法

1062   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:15
本发明属于电化学技术领域，具体为一种扫描电化学显微镜探针及其制备方法。本发明制备方法包括：以纳米薄膜的形式制备探针的牺牲层；以纳米薄膜的形式在牺牲层上制备探针的绝缘层，绝缘层厚度控制在5‑50 nm；以纳米薄膜的形式在绝缘层上制备金属电极层，金属电极层的厚度控制在5‑50 nm；利用有机溶剂去除牺牲层释放绝缘层和金属层双层薄膜；双层薄膜的内应变梯度促使绝缘层和金属电极层卷曲，形成由绝缘层包裹金属电极层的微管结构。该结构可用作扫描电化学显微镜探针；通过材料和结构调节，实现更高的探测性能和显微成像分辨率。
声明：
“扫描电化学显微镜探针及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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