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金属有机化学气相沉积装置及使用该装置的方法

869   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
一种金属有机化学气相沉积方法及装置，实现长金属管件内表面薄膜沉积，有利于降低金属管件内表面镀膜成本。用于金属管件(5)加热用的电控系统和温控系统；与金属管件(5)两端相连接的导电夹具(3)；在金属管件上包有保温层(4)；与金属管件(5)一端相连的金属有机源导入通路；温控系统连接该端的金属管件(5)所连接的有机源挥发室(8)的温度测试的外表面热电偶(11)；与金属管件(5)另一端相连接的由机械泵(1)、真空计(2)构成的真空抽气系统；用于金属管件腔体真空保持的管件两端绝缘密封件(6)；在机械泵(1)抽真空时，在金属管件(5)腔体内形成真空状态；温控系统连接该端的金属管件(5)所连接的温度测试的外表面热电偶(12)。
声明：
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