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微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法

641   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法，属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通，氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通，进气针阀固定在真空反应室炉盖上，压力控制装置与真空反应室连通，电极组件固定在真空反应室内，工作台设置在真空反应室内，微刀具固定在工作台上，两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接，热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片，红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部，冷水机外接有四根冷水管，其中两根与真空反应室的炉盖连通，其余两根与真空反应室的炉体连通，真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。
声明：
“微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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