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多孔硅光子晶体生物芯片的检测方法

1008   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
本发明公开了一种多孔硅光子晶体生物芯片的检测方法，所述测量方法包括以下步骤 : ?S1、通过等离子体增强化学气相沉积法将Si3N4沉积在P型单晶硅上, 用标准的光刻工艺制备出8*8的微阵列器件; S2、在黑暗和常温环境下对所述微阵列器件进行电化学腐蚀, 所述微阵列器件中每个圆形单元为多孔硅微腔; S3、将所述多孔微腔连接至所述微阵列器件的表面光学特性的检测光路; S4、所述检测光路测量所述微阵列器件表面的反射率，然后将所述反射率的变化转变成数字图像中对应区域亮度的变化，分析所述对应区域亮度变化所对应的数字图像的灰度级，检测到高灵敏度的折射率。
声明：
“多孔硅光子晶体生物芯片的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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