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研磨液、化学机械研磨方法

874   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:13
本发明的课题是提供一种可赋予面内均匀性优异的被研磨体的研磨液。并且，提供一种使用上述研磨液的化学机械研磨方法。本发明的研磨液是使用于化学机械研磨中的研磨液，其含有研磨粒、有机酸及水溶性高分子，且同时满足下述式(1)～式(3)。式(1)：1.5≤η100rpm/η1000rpm≤20；式(2)：1.2≤η100rpm/η500rpm≤10；式(3)：η100rpm/η1000rpm＞η100rpm/η500rpm，在式(1)～式(3)中，η100rpm是在40％RH、23℃下通过旋转粘度计以转速100rpm测定的上述研磨液的粘度，η500rpm是在40％RH、23℃下通过旋转粘度计以转速500rpm测定的上述研磨液的粘度，η1000rpm是在40％RH、23℃下通过旋转粘度计以转速1000rpm测定的上述研磨液的粘度。
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