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电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置和自动调节方法

665   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:54
一种电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置之调节方法，包括：步骤S1：设置在喷嘴下侧的传感器感测夹具的运动位置；步骤S2：当夹具恰于喷嘴处时，洗边溶液供给装置提供低于正常洗边工艺流速的洗边溶液至喷嘴；当夹具恰过喷嘴时，洗边溶液供给装置提供正常洗边工艺流速的洗边溶液至喷嘴；步骤S3：获得的电化学镀铜之边缘洗边宽度均一。本发明通过在喷嘴之下侧设置用于感测夹具之运动位置的传感器，并根据夹具与喷嘴的相对位置，凭借分段电流控制单元进行洗边溶液之流速控制，进而实现电化学镀铜之边缘洗边宽度均一，不仅其结构简单，使用方便，而且可自动调节获得洗边宽度均一之特性，提高产品良率。
声明：
“电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置和自动调节方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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