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化学药品供给装置

651   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:52
本发明公开一种化学药品供给装置,包括:用于灌入药液的容器罐;缓冲器,其下部设有用于接收所述容器罐内的药液后向半导体装备输送的排出阀,在上部形成用于向外部排出包含于所述药液里的气泡的气泡排气阀;残量测定装置,以用于测定所述容器罐内药液的残量;及体积可变装置,以用于当利用所述残量测定装置进行的测定结果为容器罐内的药液残量在基准值以下时,使缓冲器内药液的收容空间收缩及膨胀,从而吸入容器罐内的药液。并且,如果测定的容器罐内药液的残量在基准值以下,则从缓冲器侧形成低速真空吸入动作,因此可降低容器罐内的药液的残量而节省材料费用。
声明：
“化学药品供给装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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