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用于化学气相沉积装置的防跳电结构

864   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:51
本发明涉及一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构，所述化学气相沉积装置包括控制单元与通过RF接地导线接地的加热部件，所述加热部件与交流回路相连，所述控制单元具有内连锁回路，所述交流回路上配置有热感应器，该热感应器还与所述内连锁回路相连，RF信号在所述RF接地导线断路后进入所述交流回路并引起所述交流回路的温度变化，所述热感应器根据该温度变化控制所述内联锁回路的通断。本发明采用热感应器来感应RF接地导线异常时交流回路导线产生的热信号，并通过内联锁回路控制化学气相沉积装置，结构简单，可以及时发现RF接地导线故障；采用本发明可以简化化学气相沉积装置的保养检修流程，降低生产成本，提高保养效率。
声明：
“用于化学气相沉积装置的防跳电结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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