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化学气相沉积法制备的多层石墨烯层数的确定方法

1081   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:51
一种化学气相沉积法制备的多层石墨烯层数的确定方法，包括：在复合硅衬底上采用化学气相沉积法制备多层石墨烯样品或将采用化学气相沉积法制备在非复合硅衬底上的多层石墨烯样品转移到复合硅衬底上；通过拉曼光谱对比确定化学气相沉积生长的多层石墨烯样品中的单层石墨烯区；分别测量化学气相沉积生长的多层石墨烯区和单层石墨烯区的反射光谱，得到两者的光学对比度实验值；计算多层石墨烯样品和单层石墨烯的光学对比度理论值；将光学对比度实验值与光学对比度理论值对比，确定多层石墨烯样品的层数。该适用于6层以内多层石墨烯样品的层数表征，准确度高，测试方法简单，适用于衬底表面已经大部分被化学气相沉积生长的单层石墨烯覆盖的情况。
声明：
“化学气相沉积法制备的多层石墨烯层数的确定方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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