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射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂碳包覆的方法

956   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:51
本发明公开了一种射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂碳包覆的方法。它是将磷酸铁锂置于反应室中,在反应性气体中,在射频等离子体下,反应15～60min,反应室的总气压维持在8～30Pa,射频等离子体的电源输出功率为40～100W,所述的反应性气体为乙炔或体积比为1∶1的氢气与甲烷的混合气体。利用本发明生成的碳包覆膜成份均匀,厚度容易控制,并且相比与常规的化学气相沉积,具有温度低,反应时间短的优点。制备的碳包覆LiFePO4材料晶体结构发育良好,XRD衍射测试结果中不含杂相,并且该碳包覆LiFePO4材料比容量大,倍率性能及循环性能优异。与金属锂组成扣式模拟电池测试,0.5C和1C时,首次放电容量分别为166.0mAh·g-1、和165mAh·g-1,50次循环后容量保持率分别为99.5%和99.3%。
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“射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂碳包覆的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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