本发明提供一种易挥发液态化学品供应系统及供应方法,系统包括:供应槽;化学品输入管路,用于向供应槽输入化学品,其设有开关控制阀;液位侦测器,用于在侦测到化学品液位超过预设液位时,发送液位控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入;重量侦测器,用于在侦测到化学品的重量超过预设重量值时,发送重量控制信号至开关控制阀以切断化学品输入管路的输入;供应管路,用于将化学品供应至机台。本发明的易挥发液态化学品供应系统具有双重安全保障,只要液位侦测器和重量侦测器的其中一路控制信号正常,即可保证化学品及时切断供应,极大的降低了安全风险。本发明的重量侦测器校正方便、更换简单,可大大缩短机台停用时间。
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