本实用新型公开了一种高回转精度微柱状电极在线
电化学制备装置,阴极板为带有小孔的金属板,设置于电解液槽中,控制系统控制电解加工机床做x、y和z向运动,使夹持在电解加工机床夹头的工件位于阴极板小孔中心,且浸入电解液中,使电解加工机床上的电主轴带动工件旋转,利用直流脉冲电源给阳极工件和阴极板施加电压,霍尔电流传感器检测直流脉冲电源电流,将电流信号传递给控制系统,从而加工得到高回转精度的柱状电极。本实用新型通过控制加工过程中电场流场均匀,从而保证加工电极的高回转精度,并提高了加工的稳定性和精度;同时反馈控制加工的电流,可以控制电极周围扩散层的厚度适中,从而保证加工的电极形状为圆柱状。
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