本发明涉及一种化学气相沉积方法、载具、
电池片及异质结电池,由于非遮蔽区的外边缘环绕有环形遮蔽区,从而能够有效的避免N层掺杂磷原子膜层绕镀到了反面与非遮蔽区上的i层钝化层及P层掺杂硼原子膜层相接触,进而能够避免N层掺杂磷原子膜层中的磷原子穿过i层钝化层而与P层掺杂硼原子膜层导通,从而能够有效的避免生产出来的异质结电池的并阻偏低的问题,在EL检测过程中也不会出现边角发黑的问题,保证产品良率。
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