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吸盘装置及化学机械研磨设备

835   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:45
本申请提供了一种吸盘装置及化学机械研磨设备。该吸盘装置包括：密封防护罩；膜组件，设置于所述箱式密封防护罩下侧，所述膜组件内具有内腔；气动组件，设置于所述箱式密封防护罩内、并通过气管与所述膜组件的内腔连通，所述气管的材料为透光材料；以及探测组件，包括相对地设置在所述气管的两侧的光源和传感器，所述传感器用于接收所述光源发出、并经过所述气管的光，以生成检测信号。
声明：
“吸盘装置及化学机械研磨设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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