本发明提供了一种三维微区
电化学沉积的闭环控制系统,其包括:微管装置,工作台及总控器,其中微管装置及工作台分别与总控器电控连接,且微管装置及被加工品表面与总控器形成第一回路,其中总控器内存储有第一、二闭环控制方案,当执行第一闭环控制方案时,总控器控制微管装置与工作台承载的被加工品表面逼近,直至总控器检测到第一回路反馈出预设逼近电流值
Ia时停止,并执行第二闭环控制方案,使总控器控制微管装置与工作台配合,以在被加工品表面开始电化学沉积加工,从而确保打印过程稳定进行,解决了现有技术中可能导致打印图案中断,或者导致微管堵塞等问题。
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