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三维微区电化学沉积的闭环控制系统

1030   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:44
本发明提供了一种三维微区电化学沉积的闭环控制系统，其包括：微管装置，工作台及总控器，其中微管装置及工作台分别与总控器电控连接，且微管装置及被加工品表面与总控器形成第一回路，其中总控器内存储有第一、二闭环控制方案，当执行第一闭环控制方案时，总控器控制微管装置与工作台承载的被加工品表面逼近，直至总控器检测到第一回路反馈出预设逼近电流值Ia时停止，并执行第二闭环控制方案，使总控器控制微管装置与工作台配合，以在被加工品表面开始电化学沉积加工，从而确保打印过程稳定进行，解决了现有技术中可能导致打印图案中断，或者导致微管堵塞等问题。
声明：
“三维微区电化学沉积的闭环控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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