本发明涉及一种
电化学加工系统,包括底座、电解槽以及朝向电解槽的加工电极;所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台,以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台,所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台,所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台,以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台;所述电解槽上还连接有检测所述加工电极对所述电解槽施加压力的力传感器;所述加工电极上还连接有检测其对工件加工深度的位移传感器。
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我是此专利(论文)的发明人(作者)