公开一种填料装置、填料设备和
电化学沉积系统,填料装置包括:进料结构,所述进料结构包括第一进料口和第一出料口;容纳仓,所述容纳仓包括第二进料口和第二出料口,所述第二进料口与所述第一出料口连通,所述第二出料口用作所述填料装置的出料口;设置在所述容纳仓上的称重器件,所述称重器件配置为检测所述容纳仓中的物料的重量;传输结构,所述传输结构设置在所述第一出料口与所述第二进料口之间,并配置为将所述第一出料口输出的物料向所述第二进料口传输;控制结构,所述控制结构连接所述称重器件、所述传输结构,并配置为根据所述称重器件所检测到的重量控制所述传输结构的传输速度。
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