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化学气相沉积炉漏气处理装置

741   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:44
本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域,尤其涉及一种化学气相沉积炉漏气处理装置,解决现有技术中存在的缺点,包括炉体,所述炉体的外部包裹有隔热层,所述隔热层的外部包裹有防漏气包裹层,所述防漏气包裹层的一侧通过法兰盘固定连接有抽气管,且防漏气包裹层上开设有若干个通孔,在漏气时由于防漏气包裹层与炉体之间为真空状态,当气体泄露时,会在泄露区域内使对应的气囊充气鼓起,便于技术人员寻找炉体的漏气点,具有较强的实用性,沉积炉正常工作时气囊收纳在通孔的内部,漏气时气囊充气膨胀至通孔的外部,红外传感器能够在第一时间检测到气体泄露,进而发出警报提示工作人员。
声明:
“化学气相沉积炉漏气处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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