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化学气相沉积炉漏气处理装置

802   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:44
本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉漏气处理装置，解决现有技术中存在的缺点，包括炉体，所述炉体的外部包裹有隔热层，所述隔热层的外部包裹有防漏气包裹层，所述防漏气包裹层的一侧通过法兰盘固定连接有抽气管，且防漏气包裹层上开设有若干个通孔，在漏气时由于防漏气包裹层与炉体之间为真空状态，当气体泄露时，会在泄露区域内使对应的气囊充气鼓起，便于技术人员寻找炉体的漏气点，具有较强的实用性，沉积炉正常工作时气囊收纳在通孔的内部，漏气时气囊充气膨胀至通孔的外部，红外传感器能够在第一时间检测到气体泄露，进而发出警报提示工作人员。
声明：
“化学气相沉积炉漏气处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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