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化学沉积炉加热系统

643   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:02
本实用新型属于化工工艺生产设备领域，公开了一种化学沉积炉加热系统，加热系统包括设置在炉体的上层内周与沉积室之间的上加热器层、设置在炉体的下层内周与坩埚之间的下加热器层、控制上加热器层和下加热器层的PLC系统，上加热器层包括上独立加热器，每个上独立加热器与沉积室一一相对设置，下加热器层包括下独立加热器，每个下独立加热器与坩埚一一相对设置，每个沉积室和坩埚旁边均设有热电偶组件；每个上独立加热器和下独立加热器均对应连接有一个变压器，热电偶组件和变压器均连接PLC系统。本实用新型解决了硒化锌生产过程中化学沉积炉无法进行独立区域控温的问题，在化学沉积炉内实现精准独立检测温度和控制温度精准升降。
声明：
“化学沉积炉加热系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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