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用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装置

615   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:01
提供了用于获得具有低至几纳米的空间分辨率的极高灵敏度的化学成分图的方法及装置。在一些实施例中，能够通过组合三种技术生成该化学成分图：(1)使用红外辐射照射样本，而不是调谐到样本的吸收带；(2)优化调谐到特定靶材的机械耦合效率；(3)优化调谐到特定靶材的谐振检测。通过组合这些步骤可以获得(1)基于独特红外吸收的化学成分图；(2)通过极短距离的针尖‑样本相互作用增强的空间分辨率；(3)调谐至特定靶材的谐振放大。在其他实施例中，可以利用这些步骤中的任两个，仍然能够实现空间分辨率和/或灵敏度的实质改进。
声明：
“用于化学成像的原子力显微镜的红外光谱方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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