本实用新型公开了一种便于检测的派瑞林镀膜工艺的检测加工装置,属于化学气相沉积技术领域,包括:蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统、冷却控制器以及管道,真空沉积室上部设置有升华杯,升华杯设置有料仓杯、加热环和升华室,加热环上设有温度传感器,料仓杯的下端设有密封环,密封环的一侧设有加热片,加热片的底部设有下加热传感器,升华室上连接有连接环,连接环上连接有两个前加热环,两个前加热环上分别设有上加热传感器和中加热传感器,在其中一个前加热环的一端设有上连接环。本实用新型通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上,通过用紫外线灯照射来检测,可以对加工产品的效果有了直观的观察。
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