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电化学微流芯片及其制备方法

634   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:58:59
本发明公开了一种电化学微流芯片，包括设置在基底上的金属Cr层，所述金属Cr层上设置有金属Au层，所述金属Au层上设置有作为工作电极的金属Bi层和作为辅助电极的电极Ag或AgCl层，所述基底上设置有上盖，上盖与基底之间的空隙为微流道。本发明以MEMS微细加工技术制备基于电化学溶出法的便携式水体离子在线检测仪芯片，而只需使用普通紫外光源，借助光刻胶优异的高精度结构成型能力，使用普通的掩模版，就可完成电化学微流芯片单元的制备。本发明工艺简单、成本低，而且易于批量化生产。
声明：
“电化学微流芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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