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智能芯片化学研磨液供给方法

1070   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:58:59
本发明公开了智能芯片化学研磨液供给方法，所述方法包括如下步骤：1.厂务水电气与设备相连接，并打开厂务端阀门；2.设备接通电源，旋转开关给设备上电；3.等待设备初始化完成；4.输入配方到数据库；5.按下操作电源启动按钮；6.设备自动启动并执行清洗程序；7.混料罐和供料罐分别清洗3次后自动关闭；8.设备准备完毕，可以执行任务；9.选择配方；10.搬运原料桶至设备原料秤；11.扫码枪扫描原料桶编码；12.系统进行对比，判断编码与数据库中记录的配方是否一致，重量是否一致。本发明在通过电导率液体监测的同时运用智能计算深度学习方法量化检测，能够进行更高效、高精度的化学研磨液供给系统来进行研磨液体的供给。
声明：
“智能芯片化学研磨液供给方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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