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通用化学机械抛光液

1088   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:58:59
一种通用化学机械抛光液，属于超硬材料超精密加工领域，其成分包含氧化锆磨料、硅酸钠分析纯试剂、去离子水。室温下，将磨料氧化锆、硅酸钠、分别加入去离子水中，超声设备中震荡5分钟得到化学机械抛光液。所述抛光液中，氧化锆浓度为0.05～0.09g/ml，粒径为0.05～0.2μm，所述的硅酸钠浓度为0.05～0.12g/ml。该化学机械抛光液具有通用性，能够用于抛光蓝宝石晶体，石英、金刚石、硅片、钨合金材料。相较于传统抛光液，晶体表面粗糙度降低，无损伤缺陷。且该新型抛光液的成本低廉，无需特殊工艺合成，并且所有组分均不会造成环境污染。
声明：
“通用化学机械抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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