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化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制方法及装置

932   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:58:59
本发明提出一种化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制方法，包括以下步骤：红外传感器检测工位上的晶圆位置，获得工位上的晶圆位置值并存储；对存储的工位上的晶圆位置进行修正补偿，获得第一位置值；将第一位置值与上次的工位上的晶圆位置值进行相加，获得工位上的晶圆位置的准确值，即第二位置值；红外传感器将第二位置值作为输入值，传输给I/O板；I/O板再将输入值送到主控器，执行抓取晶圆，并将输入值存储。本方法实现实时化学抛光传输机器人的机械手对工位上的晶圆抓取的自适应能力，且具有高效性，精确性与适用性。本发明还公开了一种化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制装置。
声明：
“化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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