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蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液

1098   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:58:58
本发明属于硬脆材料的超精密加工技术领域，提供了一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液。该高效混合磨料化学机械抛光液包括混合磨料、表面活性剂、螯合剂、pH调节剂和去离子水。化学机械抛光后，在105×141μm2的较大检测范围下，蓝宝石衬底的表面粗糙度Ra为0.530nm，材料去除速率为6.78μm/h。实现了蓝宝石衬底的超高材料去除速率和无损伤的亚纳米级表面粗糙度的化学机械抛光。
声明：
“蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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