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可提高抛光性能的化学机械抛光方法

755   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:49
本发明提供了一种可提高抛光性能的化学机械抛光方法，该方法包括第一阶段抛光、第二阶段抛光和第三阶段抛光，该方法包括以下步骤：步骤1：统计得出第一阶段抛光、第二阶段抛光和第三阶段抛光的总时间；步骤2：将第一阶段抛光时间设定为总时间的60‑70％，将第二阶段抛光时间设定为总时间的20‑30％，并且按照设定时间进行抛光；步骤3：进行第三阶段抛光并检测抛光终点，在检测到抛光终点时停止抛光。本发明所述的可提高抛光性能的化学机械抛光方法，可大幅度提高抛光性能。
声明：
“可提高抛光性能的化学机械抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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