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化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统

1029   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:49
本发明公开了一种化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，其中，检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；编码器用于检测传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；主控制器用于根据操作指令和运动控制器发送的检测信息生成传输机器人的运动指令，运动控制器用于以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；多个伺服驱动器，每个伺服驱动器用于根据相应的电机控制量计算相应电机的控制转矩；多个电机，每个电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动传输机器人运动。
声明：
“化学机械抛光传输机器人的递归优化控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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