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化学机械研磨工艺中氧化剂浓度的监控系统

580   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:49
一种化学机械研磨工艺中氧化剂浓度的监控系统,包含一光谱仪与一中控器,其中光谱仪连接在研浆供应槽与研磨机台之间用来供应研浆的管路上,此光谱仪用来检测研浆中氧化剂的浓度;中控器与光谱仪、研浆供应槽与研磨机台连接,此中控器会根据光谱仪传来的信号以得到研浆中氧化剂的浓度,并据以调整研浆供应槽中研浆的组成与/或研磨机台的研磨条件。
声明：
“化学机械研磨工艺中氧化剂浓度的监控系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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