一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法,属于半导体超精密加工技术领域。先对碲锌镉晶片进行研磨加工,研磨液为去离子水,然后是化学机械抛光,采用棒状介孔陶瓷磨料,去离子水,氧化剂,分散剂和pH调节剂配置抛光液。采用本发明方法抛光后CZT表面粗糙度检测的范围是5×5μm
2,Ra值达到了0.26‑0.34nm。本发明实现了CZT的的超光滑低损伤化学机械抛光。而且磨粒的弹性模量测量结果表明,磨粒的弹性模量对碲锌镉晶片的抛光结果有影响。
声明:
“碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)