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半导体清洗化学液用冷却装置

691   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:48
本实用新型的目的是提供一种半导体清洗化学液用冷却装置，以对液体进行冷却后排放的连续化处理；本装置包括：冷却槽，用于容纳待冷却液；进液阀，设置在冷却槽上部开设的进液口处；排液阀，设置在冷却槽一侧壁的下部开设的排液口处；第一冷却盘管，设置在冷却槽的内部，用于对冷却槽内待冷却液降温；温度检测模块，用于检测冷却槽内待冷却液的温度；液位检测模块，用于检测冷却槽内待冷却液的液位；控制模块，其与温度检测模块、液位检测模块、进液阀和排液阀电性连接，本装置通过控制模块控制进液阀、排液阀的开关以使待冷却液在冷却槽内降温至预设温度后排液、液位较低时进液过程的连续进行，有利于实现待冷却液冷却过程的连续性提高冷却效率。
声明：
“半导体清洗化学液用冷却装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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