本发明公开了一种化学供应系统N2加湿装置的系统,包括化学罐和加湿罐,所述化学罐位于加湿罐的一侧,所述化学罐和加湿罐的顶部均连通有若干连接结构,所述加湿罐的顶部从左至右依次通过连接结构连通有氮气进管、去离子水进管和氮气连接管。本发明通过在氮气供应系统内部增加氮气加湿器装置,在氮气注入化学罐之前,使氮气充分加湿,避免吸收化学罐内部的水分,导致浓度变化,该化学供应系统N2加湿装置的系统具备实现氮气注入化学罐保持压力平衡的同时,且不影响化学罐药液的浓度的优点,在实际使用过程中,其结构简单,且密封性能好,并且具备高低水位检测功能,能够实现自动化添加去离子水,实现全自动运转,节约了人力物力。
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