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化学机械研磨后晶圆清洗设备

1064   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:47
本实用新型提供了一种化学机械研磨后晶圆清洗设备，包括清洗装置、电机扭矩量测模块、清洗控制模块及故障检测分类模块。本实用新型所提供的化学机械研磨后晶圆清洗设备通过故障检测分类模块收集清洗刷电机扭矩数据，动态调节清洗刷与晶圆表面的距离，减少了晶圆表面缺陷数，增加了清洗刷使用寿命，提高了良品率。
声明：
“化学机械研磨后晶圆清洗设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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