本发明公开了一种高纯度化学物质的制备装置,包括离子提纯装置、动力装置、离子产生装置以及离子收集装置;所述离子提纯装置包括至少两个并联的四级质量分析器;所述动力装置用于驱动四级质量分析器的运行;所述离子产生装置用于产生离子源;且该离子源能够进入所述离子提纯装置内;所述离子收集装置用于收集所述离子提纯装置分离的离子。该装置可以制得100%纯度的物质,制备速度快,本发明还公开了其制备方法,该方法能够较快速度的制备高纯度化学物质。
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