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拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用

646   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:45
本发明公开了一种拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用，属于化学气相沉积领域。系统包括化学气相沉积系统和拉曼光谱仪，所述化学气相沉积系统包括高温炉，所述高温炉中的炉腔内设有穿过高温炉的三通炉管，所述三通炉管设有上方开口，上方开口的正下方设置有载样台，所述三通炉管的上方开口密封连接光学镜片；所述拉曼光谱仪的探头垂直对准三通炉管中置于载样台上的基底。本发明通过设置三通炉管的上方开口为透射窗口，以供光信号通过，使拉曼光谱仪实时监控化学气相沉积进程，进而通过分析拉曼光谱数据对样品制备的生长参数进行调控，制备样品过程更加灵活可控，有效提高了样品生长的效率。
声明：
“拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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