一种外槽液位指示型的化学处理槽,在外槽增加一连通导管装置,使化学处理槽中的化学处理液可流通至连通导管装置中。借由连通管原理,连通导管装置中化学处理液的液面高度,会与化学处理槽中的化学处理液液面高度相同。因此,利用目视方式即可由本发明的透明连通导管装置中,观测出化学处理液的液面高度。如此一来,当氮气液面传感器感应到氮气异常状况时,即可利用目测方式省略现有复杂的化学处理液液面检查步骤,以提高机台的生产时间并节省化学品的使用量。
声明:
“外槽液位指示型的化学处理槽” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)