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电化学超微组合电极及其制备方法

879   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:45
本发明公开了一种电化学超微组合电极及其制备方法。本发明采用光刻技术将超微电极图形转移至基片上后,再次甩涂光刻胶,以光刻胶直接作为绝缘包封层,曝光将电极尖端部分的光刻胶刻蚀掉,形成微电解槽。此方法制作步骤相对简单,可一次性大量制备,并保证了电极暴露面积精确可控。制作得到的微电解槽在实验测试中显示出高传质速率、高信噪比、高电流密度等优良的电化学特性。电极位置固定,有利于得到重现性良好的结果。电解槽的容积小于1PL,可用于精确地限域并检测痕量电解液。以上结果都表明此类器件具备很好的微量痕量检测的能力。
声明：
“电化学超微组合电极及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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