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化学机械抛光垫的制造方法及其产品和模具

625   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:44
本发明提供了一种化学机械抛光垫的制造方法，和其制造的带有终点检测窗口的化学机械抛光垫，及配合使用的单片或多片组合式浇注模具。本工艺中，将成型好且为固体的终点检测窗口利用一次性一体化浇注成型工艺包埋嵌合于化学机械抛光垫抛光层中，从而直接制得牢固粘结有窗口的抛光层抛光层。利用单片或多片组合式浇注模具，对每片带窗口的抛光层的浇注工艺参数控制精确，所得产品抛光垫本体具有优异的密度分布、空穴率和空穴大小的均匀性，进而取得了抛光垫整体的工艺和质量稳定性。所得产品的窗口与抛光层本体的接触面在物理和化学的双重作用下进行粘合，粘合效果极佳，消除了使用过程中接触面裂缝而致的渗漏现象。因此，具有显著的实际推广价值。
声明：
“化学机械抛光垫的制造方法及其产品和模具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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