本发明涉及一种微型高灵敏度光纤化学传感器,属于微型传感器技术领域。具体包括光纤锥、光纤谐振腔、顶盖和底座。光纤谐振腔为中部镀有沸石薄膜的单模光纤(去掉涂覆层),可有效的增强化学传感器的选择性吸附能力。本发明采用光纤锥作为激发波导来激发谐振腔的回音廊式,具有很高的耦合效率。通过沸石涂层的选择吸收作用,可以实现对特定大小的气体分子的检测。作为承载装置的底座和顶盖结构简单,仅需标准机械加工工艺制备。本发明的传感器,可以实现高灵敏度、高精度检测;可用于检测环境中特定种类分子的存在及浓度;可广泛应用于环境控制、工业过程处理、矿山生产、公共安全设施、国土安全等领域,灵敏度可达ppm甚至ppb量级。
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