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卷到卷高效连续化学机械抛光机

879   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:23
本发明公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。本发明提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机，用于超薄柔性显示衬底的Roll‑to‑Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。
声明：
“卷到卷高效连续化学机械抛光机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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