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常压化学气相沉积装置

1001   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:23
为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型提供了一种常压化学气相沉积装置，其包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。
声明：
“常压化学气相沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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