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柔软且可修整的化学机械窗口抛光垫

725   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:22
柔软且可修整的化学机械窗口抛光垫.本发明提供了一种化学机械抛光垫，其包括：抛光层、塞入性终点检测窗口块体、刚性层以及将所述抛光层与刚性层粘结的热熔粘合剂，其中所述抛光层包含以下组分的反应产物，所述组分包括：多官能异氰酸酯和固化剂包装，所述固化剂包装包含胺引发的多元醇固化剂和高分子量多元醇固化剂，其中，所述抛光层的密度大于0.6克/厘米3，肖氏D硬度为5-40，断裂伸长率为100-450％，切割速率为25-150微米/小时；以及其中所述抛光层具有适合用来对基材进行抛光的抛光表面。本发明还提供了制备和使用化学机械抛光垫的方法。
声明：
“柔软且可修整的化学机械窗口抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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