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化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法

754   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:21
本发明公开了一种化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法,包括以下步骤:第一步,测量不同使用时期研磨垫的研磨垫沟槽深度和研磨垫厚度,从而确定研磨垫的不同区域的切削速度;第二步,设定修正盘在研磨垫不同区域的停留时间;第三步,检测研磨垫不同区域的研磨粒和化学机械抛光的研磨速率;第四步,测量使用到寿命的研磨垫的研磨垫沟槽深度和研磨垫厚度;第五步,针对上面几步的检测结果设定修正盘在研磨垫不同区域的压力;第六步,重复第三步到第五步,直到找到适合的压力参数,使研磨垫各个区域的面内损耗和沟槽深度趋于一致。本发明通过对研磨垫各个区域压力的设置,使研磨垫的切削更均匀,可以延长研磨垫的使用寿命,降低生产成本。
声明：
“化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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