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化学品传感器及其形成方法

952   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:05
各种实施例涉及一种化学品传感器。化学品传感器可包括基板，基板包括第一密封(或隔离)腔以及与第一密封(或隔离)腔分开的第二密封(或隔离)腔。化学品传感器也可包括在第一密封(或隔离)腔中的发射器，发射器配置为发射红外光。化学品传感器还可包括在第二密封(或隔离)腔中的检测器。化学品传感器也可包括波导，波导配置为将红外光从发射器输送到检测器。波导可包括传感部分，传感部分配置为使通过传感部分输送的红外光的特性响应于与传感部分接触的化学实体而改变。检测器可配置为检测(红外光的)特性上的改变。
声明：
“化学品传感器及其形成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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