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基于单晶硅纳米薄膜光电器件的气体与化学物质传感系统的制备方法

639   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:02
本发明属于柔性光电子传感技术领域，具体为一种基于高灵敏单晶硅纳米薄膜光电子器件的气体与化学物质探测传感系统的制备方法。本发明首先采用整体转移的工艺，将单晶硅纳米薄膜光电三极管转移到柔性的聚酰亚胺衬底上实现高灵敏的柔性光电子器件。以此器件为平台，在器件表面修饰在特定气体或化学物质作用下能发生光学参数变化的敏感材料，通过分析系统吸附化学物质后光电信号的变化，实现气体与化学物质的探测传感。本发明作为传统传感器的有力补充，为未来可集成于芯片上的非接触式气体与化学物质的传感探测系统的研制奠定了基础。
声明：
“基于单晶硅纳米薄膜光电器件的气体与化学物质传感系统的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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