本实用新型提供一种蚀刻化学液配比质量的装置,包括中间贮槽、缓冲槽、反应室、浓度分析仪、控制器和显示器;中间贮槽与缓冲槽之间的导管设置有阀门,反应室与缓冲槽之间设置有原料导管,使用中间贮槽将混合的化学液体进行充分循环,打开阀门将循环完全的化学液体输送到缓冲罐中,反应时抽取缓冲罐内的液体,并通过浓度分析仪进行浓度的分析,浓度分析仪将分析后的数据输送到控制器中,控制器将获得的数据传输到显示器上显示,使得检测人员知晓化学液体的浓度。同时控制器会将该浓度值与设定的值进行比较,获得符合条件的化学液体,进而得到所需蚀刻率的浓度值,因此避免了测试成本与产能时间的损失,并提高了检测的效率。
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