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用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法

885   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:31
本发明提供一种用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法，包括基底、设置在基底上的镂空部分、位于镂空部分内的微薄膜、四个支撑微悬臂梁、支撑微悬臂梁上的MOSFET输出结构；四个支撑微悬臂梁相互对称设置，其一端与微薄膜相连，另一端与外部基底相连后固定，四个支撑微悬臂梁上的MOSEFET输出结构为一对对称设置的PMOS结构以及一对对称设置的NMOS结构。本发明使用方便，传感器抗干扰能力强，能够保证测量精度；传感器可采用MEMS加工制作，成本低廉，且能够保证传感器具有良好的一致性；该传感器及相应的检测系统通用性强，可用于生物医学、化学、食品安全、环境污染等领域中的检测和监控。
声明：
“用于生化检测的MOSFET型微薄膜传感器、检测系统与检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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