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用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置

903   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:30
本实用新型属于电化学沉积领域，并公开了一种用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置。该夹具包括用于夹持生长基底的夹板、用于承载对电极的平板、用于安置参比电极的支撑件和底座，夹板和底座通过支柱固定在一起，平板通过支柱沿着第一方向可调节地安装在夹板和底座之间，且夹板、平板和底座相互平行，所述支撑件设置在夹板和平板之间，其中在所述夹板上安装有测温探头。该电化学沉积装置包括电解池、上述夹具、电化学工作站、水浴恒温系统、以及测温表和可选的显示终端，所述电解池用于放置所述夹具。采用本实用新型的电化学沉积装置制备的材料的均匀性可以得到极大提升。
声明：
“用于电化学沉积的夹具和电化学沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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